方案概述
針對半導(dǎo)體芯片制造、TFT-LCD制造、電子元件制造、印制電路板制造、電子終端產(chǎn)品制造等工藝中產(chǎn)生的各類廢氣，天得一深入研究并為其提供定制化的廢氣治理解決方案。這些廢氣主要源于生產(chǎn)過程中的多個工序，如薄膜沉積、光刻、刻蝕、清洗和涂覆等，包括CVD廢氣（含硅烷、氫氣、氨氣、含氟含磷廢氣等）、剝離液廢氣等在內(nèi)的特氣、酸性廢氣、堿性廢氣、有機廢氣等。針對泛半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放特點，我們深入研發(fā)，為泛半導(dǎo)體行業(yè)提供高效、可靠的廢氣治理方案。
方案內(nèi)容
方案特點
專用預(yù)處理
保證系統(tǒng)高效、穩(wěn)定運行
組合工藝設(shè)計
處理復(fù)雜成分及大風(fēng)量廢氣
自動化程度高
投資、運行經(jīng)濟性良好
運行穩(wěn)定
負(fù)壓布置，廢氣處理達(dá)標(biāo)排放
安全可靠
多重安全聯(lián)動+防爆設(shè)計
核心產(chǎn)品
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專屬咨詢顧問
